吸气剂重复激活次数对吸气效能的影响

摘要：

红外探测器杜瓦的真空可靠性对杜瓦正常工作有重大意义.若吸气剂激活后吸气能力下降,则杜瓦的长期真空可靠性存在风险.通过测试锆钒铁吸气剂在真空环境中的重复激活次数对吸气剂吸气效能的影响,获得了相应的吸气量与吸气速率变化数据.结果表明,随着重复激活次数的增加,吸气剂的饱和吸气总量无明显变化,且初始吸气速率略微提高,最后趋于稳定.实验结果可用于指导后续杜瓦封装工艺.

关键词：红外探测器、吸气剂、杜瓦

所属期刊栏目：43

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19