1.3～2.7μm带通滤光膜研制与分析

摘要：

光学薄膜技术广泛应用于几乎所有的光学系统、光电系统和光电仪器.新型探测器的发展对1～3μm近红外波段附近的能量响应提出了滤波的要求.从电磁场理论和麦克斯韦方程出发,介绍了光学薄膜的设计理论,论述了带通滤光膜的设计方法.基于Optilayer软件,以氧化铝为基底,设计了 一种工作波段为1.3～2.7μm的近红外带通滤光膜.考虑到镀膜材料的匹配性问题,选择硫化锌和氟化镱作为高、低折射率材料.采用长波通与短波通相结合的设计方法,并用Optilayer软件完成了膜系的计算和优化.在氧化铝基底双面镀制膜,用电子束蒸发和离子束辅助沉积的制备工艺完成了膜系镀制.用分光光度计对制备样品进行了透过率测试.结果表明,在1.3～2.7μm设计波段,样品的平均透过率大于95％,符合带通滤光膜的设计要求.

关键词：近红外、带通滤光膜、透过率、薄膜制备、氧化铝

所属期刊栏目：43

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：固体激光技术国家重点实验室基金项目

在线出版日期：2022-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7