FIB-SEM双束系统在红外焦平面探测器研制中的应用

摘要：

聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Micro-scope,FIB-SEM)双束系统结合了扫描电子显微镜与聚焦离子束系统的优势.基于该系统的高分辨率、原位加工及观测的特点,研究了它在缺陷与像元解剖分析、透射电镜样品制备以及电路修复等方面的应用.详细介绍了用FIB-SEM系统定位问题像元的方法和修复电路的具体过程,并阐明了它对红外焦平面探测器研制的重要作用.该系统是高性能红外探测器研制过程中不可或缺的重要表征手段.

关键词：红外焦平面探测器;聚焦离子束扫描电子显微镜;电路修复

所属期刊栏目：43

分类号：TN362(半导体技术)

在线出版日期：2022-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-39