铟柱高度快速测量方法研究

摘要：

在红外探测器铟柱蒸发的工艺试验中,有需要测量大量铟柱高度的情况,因此对铟柱高度测量方法进行了研究.手动逐点测量铟柱高度方式的结果较为准确,但是测量速度比较慢,消耗时间比较多.快速自动测量的方法使用了显微镜的扫描功能,并利用图像识别技术来自动识别铟柱,能够一次获取所有铟柱的高度,所以测量速度很快.详细介绍了这两种方法的操作步骤和重要选项的设置.经过测算,用快速测量方法测量1000个铟柱的高度只需要30分钟,测量时间能够减少76％,极大地提高了测量效率.最后分析了两种不同测量方法的优点和缺点.

关键词：红外探测器;铟柱;互连;高度测量

所属期刊栏目：43

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：15-21