10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展

摘要：

随着红外技术的进步,红外探测器组件向着更小尺寸、更高分辨率的方向发展.小像元间距、大面阵规格是长波探测器发展的重要方向.通过对10μm像元间距、9μm截止波长、1280×1024阵列规格长波探测器的研究,突破了10μm间距长波像元成结技术、10μm像元间距铟柱制备及互连技术,制备了有效像元率大于等于99.4％、非均匀性小于等于4％的10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器芯片.

关键词：小间距;1280×1024;长波;碲镉汞

所属期刊栏目：43

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2022-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6