分布式碲锌镉晶体制备材料区熔提纯炉研究

摘要：

针对远红外探测器衬底制造对高品质碲锌镉单晶材料的需求,为了满足高品质碲锌镉单晶生长对高纯度原材料的需要,基于区熔提纯原理与工艺实现方法设计出一种由区熔炉炉体、移动加热装置、气路系统和电气控制系统等组成的分布式碲锌镉晶体制备材料区熔提纯炉.采用氢气除杂、氮气保护和伺服机构控制加热温度场移动的方法来实现区熔提纯.在区熔窄区宽度为15 mm和倾斜角度为7°的条件下,开展了碲、锌和镉等原材料的区熔提纯实验.结果 表明,当加热温度高于材料熔点50 K且移动速度为0.006 mm·s-1时,区熔加热装置往复移动10次以上,可将碲锌镉晶体制备所需的原材料纯度由6N(99.9999％)提高到7N(99.99999％);分布式碲锌镉晶体制备材料区熔提纯炉的加热温度、加热装置移动速度和移动稳定性较好.

关键词：碲锌镉晶体制备;材料提纯;精馏提纯;区熔提纯方法;区熔提纯炉

所属期刊栏目：42

分类号：TH112.1

资助基金：国家科技型中小企业技术创新基金项目;云南省产业技术领军人才支持项目

在线出版日期：2022-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：26-33