碲锌镉晶体合成过程中的放热控制和反应几理研究

摘要：

碲锌镉(Cadmium Zinc Telluride,CZT)是碲镉汞(Mercury Cadmium Tellu-ride,MCT)红外焦平面器件的重要衬底材料,其合成过程存在强烈的放热现象.因此控制放热是CZT多晶材料合成工艺平稳进行的基本条件.通过改变初始旋转倾角可有效调控合成反应的放热强度和放热速率:大倾角有利于获得缓慢且稳定的工艺过程.基于实验结果和热力学计算分析可知,合成反应经过镉-碲的液-固相反应和液-液相反应两个阶段完成.同时实验结果表明,反应的放热量大小决定了在高温下是否会发生第二次反应.最后对二次反应发生的相关机理进行了分析.

关键词：碲锌镉;合成反应;放热速率;反应原理

所属期刊栏目：42

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2021-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：14-20