SIMS测试中的一次离子束研究

摘要：

介绍了二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)测试中一次离子束的各参数对测试的影响.研究发现,离子源的选择由分析元素决定,一次束能量决定深度分辨率,入射角度影响溅射产额,一次离子束的束流密度影响溅射速率.因此,在SIMS测试中,需要根据分析目的调节相应参数,以获得较好的分辨率.

关键词：二次离子质谱仪、一次离子束、刻蚀速率

所属期刊栏目：42

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2021-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20