衬底热导对Mn-Co-Ni-O薄膜热敏红外探测器性能的影响

摘要：

研究了用Mn-Co-Ni-O薄膜材料制备的热敏红外探测器件,并主要通过调控衬底热导改进了器件性能.对于较薄的探测元,研究了具有微桥结构的红外器件.结果 表明,该器件的响应率比非微桥器件高80％左右,探测率高44％左右.这主要是因为其独特的结构形式降低了器件热导,且对光的全反射效应提高了探测元对光的吸收率.对于较厚的探测元,在衬底上增加了抛光的散热铜片,使器件衬底的导热系数提高了47％左右,但响应电压降低了50％左右.因此需要合理选择散热铜片,以获得合适的时间常数和响应率.

关键词：Mn-Co-Ni-O薄膜、红外探测器、微桥、导热系数、响应率

所属期刊栏目：41

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目;上海市自然科学基金面上项目

在线出版日期：2020-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30