基于钽酸锂晶片的太赫兹热释电探测器
万方数据知识服务平台
应用市场
我的应用
会员HOT
万方期刊
×

点击收藏,不怕下次找不到~

@万方数据
会员HOT

期刊专题

10.3969/j.issn.1672-8785.2020.04.003

基于钽酸锂晶片的太赫兹热释电探测器

引用
针对自由空间和波导传输太赫兹辐射功率兼容测试的需求,开展了光敏面直径为10 mm的多功能太赫兹热释电探测器的相关研究.通过有限元分析及热电耦合仿真设计,建立了敏感元件由100 μm厚的钽酸锂(LiTaO3)晶片和碳纳米管吸收层组成的太赫兹热释电探测器模型;采用优化的精确减薄抛光和剥离等关键工艺,重点攻克了采用大晶片多阵列方式制作LiTaO3基太赫兹热释电探测器敏感元件的工艺难题,并完成了太赫兹热释电探测器的研制.在设定条件下,该探测器的响应度为371.8 V/W,噪声等效功率为0.34 nW/Hz1/2.实验结果表明,设计并制作的太赫兹热释电探测器的集成度高、响应度良好、噪声等效功率低,能够有效解决大光斑太赫兹光束功率测试问题.

钽酸锂、太赫兹探测器、大晶片多阵列、精确减薄

41

TN744.41(基本电子电路)

国防科技重点实验室基金项目6142001190308

2020-08-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

14-19

相关文献
评论
暂无封面信息
查看本期封面目录

红外

1672-8785

31-1304/TN

41

2020,41(4)

相关作者
相关机构

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn