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10.3969/j.issn.1672-8785.2020.04.001

双层异质结碲镉汞甚长波红外焦平面探测器研究进展

引用
报道了碲镉汞甚长波红外焦平面探测器的最新研究进展.采用水平液相外延In掺杂和垂直液相外延As掺杂技术生长了p-on-n异质结材料.基于湿法腐蚀、表侧壁钝化以及In柱互连工艺,制备了第一支台面型碲镉汞甚长波红外焦平面器件.在60 K的工作温度下,该器件的截止波长为14.28 μm,有效像元率为94.5%,平均峰值探测率为8.98×1010 cm· Hz1/2·W-1.

双层异质结、甚长波红外、碲镉汞、红外焦平面探测器

41

TN213(光电子技术、激光技术)

2020-08-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

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1672-8785

31-1304/TN

41

2020,41(4)

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