锑化铟红外焦平面器件信号分层问题研究

摘要：

锑化铟红外焦平面器件在杜瓦测试中常常会出现信号分层问题,由此影响器件制造的成品率.通过对器件杜瓦测试电平图、管芯电流电压测试结果及衬底掺杂浓度进行研究,找到了导致探测器信号分层的原因.进一步的理论分析表明,锑化铟衬底上局部的高浓度掺杂区域会对器件性能造成影响.基于此研究,在芯片的制备过程中可采取相应的措施,最大限度地避免后道工序中的无效工作,从而提高锑化铟焦平面器件工艺线的流片效率.

关键词：锑化铟、红外焦平面探测器、信号分层

所属期刊栏目：41

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14