10.3969/j.issn.1672-8785.2019.10.003
2.06μm激光偏振膜设计与工艺方法
介绍了近红外固体激光器中2.06μ m激光偏振膜的用途、设计与制备方法.基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比,确定了初始膜系结构.讨论了薄膜选材、通带波纹压缩、工艺制备等相关技术问题.利用计算机优化软件对膜系结构进行了反复优化.采用电子束真空蒸镀和离子源辅助沉积工艺完成了偏振膜的制备,并对其进行了光谱检测.然后根据测试结果对制备过程中的相关参数进行了优化,最终制备出了光学性能优异、膜层吸收少、均匀性好、稳定性高的激光偏振膜.
偏振膜、膜系设计、离子源辅助沉积、光谱检测
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O484(固体物理学)
2020-03-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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