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10.3969/j.issn.1672-8785.2019.01.003

双层衍射光学元件微结构高度的优化设计

引用
微结构高度是衍射光学元件的重要加工参数之一.基于双层衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率和微结构高度的关系,分析并给出了微结构高度的优化设计方法.在满足光学系统性能要求的情况下,通过适当地降低带宽积分平均衍射效率来减小微结构的高度.分别针对可见光、长波红外、红外双波段三种波段工作的双层衍射光学元件进行仿真分析.分析结果显示,工作在长波红外波段的双层衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率减小1.9%,微结构高度能降低55%以上.该结论对于双层衍射光学元件的加工及应用有重要的意义.

衍射光学、衍射效率、光学设计、微结构高度

40

O436(光学)

江苏省高校自然科学研究基金16KJD140001;2018年大学生创新创业训练计划项目省级指导201810324009X

2019-05-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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31-1304/TN

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2019,40(1)

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