10.3969/j.issn.1672-8785.2018.11.003
碲锌镉晶体表面磨抛方法研究
碲锌镉是一种性能优异的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料.随锌含量不同,其禁带宽度可连续调节,是用于制备红外探测器的碲镉汞材料的优良衬底.介绍了多种碲锌镉晶体的磨抛方法,包括手工研磨、机械抛光、化学抛光和机械化学抛光.借助多种表征技术和改良手段,碲锌镉晶体的表面加工取得了显著进步.
碲锌镉、磨抛、机械化学抛光、精密加工
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TN304.2(半导体技术)
2019-01-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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