碲锌镉晶体表面磨抛方法研究

摘要：

碲锌镉是一种性能优异的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料.随锌含量不同,其禁带宽度可连续调节,是用于制备红外探测器的碲镉汞材料的优良衬底.介绍了多种碲锌镉晶体的磨抛方法,包括手工研磨、机械抛光、化学抛光和机械化学抛光.借助多种表征技术和改良手段,碲锌镉晶体的表面加工取得了显著进步.

关键词：碲锌镉、磨抛、机械化学抛光、精密加工

所属期刊栏目：39

分类号：TN304.2(半导体技术)

在线出版日期：2019-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-16