轴跳动激光相干测量技术研究

摘要：

转轴的圆跳动对机床的加工性能具有重要影响.为了满足实时在线的高精度测量需求,提出了一种新颖高效的轴跳动激光相干测量技术.该技术采用稳定可靠的基于塞曼效应的He-Ne激光器作为光源,具有灵敏度高、输出信噪比高、精度高、探测目标作用距离远等优点.另外,通过光纤传输,其测量灵活性和抗干扰性得到了进一步提高,可以满足实时在线的远距离测量需求.实验结果表明,该系统的测量不确定度小于0.1％.

关键词：圆跳动、塞曼效应、激光外差干涉、光纤、不确定度

所属期刊栏目：38

分类号：TN209(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2018-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-38,48