碲镉汞薄膜减薄损伤的扫描电镜研究

摘要：

对由碲镉汞薄膜减薄工艺导致的损伤层的研究至关重要.采用扫描电镜研究了碲镉汞薄膜经减薄工艺后的损伤层,获得了非常有价值的实验结果.结果对由碲镉汞薄膜减薄工艺形成损伤层的认识和后续的工艺优化具有非常重要的指导意义.

关键词：碲镉汞、减薄、损伤层、扫描电镜、透射电镜

所属期刊栏目：38

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22