InSb衬底表面的氧化层研究

摘要：

能在高温下工作的InSb基InAlSb红外探测器是新一代红外探测器的发展方向.对衬底表面氧化层的研究是该研究方向的基础.利用椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometry, SE)、X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)对用现工艺生长的InSb衬底表面氧化层进行了分析.从常用的腐蚀液中挑选了较优的腐蚀液,调节配比,试验加入无机酸后的效果,获得了较优的表面氧化层处理液.对处理后的表面氧化层的稳定性进行了对比,分析了其主要成分的变化,最终获得了满足Epi-ready InSb晶片表面氧化层参数的衬底,为后面高温工作探测组件的研究打好了基础.

关键词：高工作温度、InSb、表面氧化层、CP4A

所属期刊栏目：38

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：12-17,22