10.3969/j.issn.1672-8785.2013.04.07
红外探测器杜瓦夹层材料的出气特性研究
内部夹层材料放气是长寿命杜瓦真空失效的主要原因之一.本文使用四级质谱仪测试了杜瓦夹层材料的出气特性,出气成分主要是水,甲烷、氢气等.基于非金属的放气理论和工程经验,建立了夹层材料的放气特性模型.测试结果对材料的选择、真空除气工艺的优选和烘烤排气工艺的优化有参考意义.
杜瓦、真空寿命、四级质谱仪、出气特性
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TN215(光电子技术、激光技术)
2013-05-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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