掺砷碲镉汞的研究进展
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10.3969/j.issn.1672-8785.2012.04.001

掺砷碲镉汞的研究进展

引用
掺砷碲镉汞是一种用于制作p-on-n器件和实现高性能碲镉汞探测器及多色红外焦平面阵列的关键材料.对掺砷碲镉汞的相关文献进行了归纳分析.砷激活效率与退火条件及砷的浓度直接相关.对于掺砷浓度在1016~1018 cm-3范围内的碲镉汞,通过300℃/16 h和240℃/48 h两步退火可将样品前表面激活为p型材料,但汞空位的浓度相对于背面较高.样品背面靠近衬底处可能存在AsTe和AsHg缺陷.

砷、碲镉汞、掺杂浓度、激活、缺陷

33

N8(自然科学调查、考察)

国家自然科学基金项目10927404, 61176075;国家重点基础研究发展规划项目2007CB924902

2012-05-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

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1672-8785

31-1304/TN

33

2012,33(4)

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