一种用于检测薄膜均匀性的光谱方法

摘要：

介绍了一种新的简单有效的薄膜均匀性信息获取方法,该方法基于我们先前提出的纳米薄膜厚度精确测量方法,它通过检测镀制在含有过渡层的衬底上不同位置的薄膜的光谱,并由其干涉峰间的差异获取薄膜的均匀性信息.与传统方法相比,该方法无需直接测量薄膜的厚度,减少了测量膜厚带来的误差和影响,因而可以快速得出薄膜均匀性结论.该方法操作方便、计算简单,为改进镀膜工艺提供了重要参考.

关键词：薄膜均匀性、透射光谱法、干涉峰

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10874196、60508018;上海市青年科技启明星跟踪计划08QH14025;上海市研发基地协作能力建设专项09DZ2202200、08DZ2201000

在线出版日期：2012-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7