一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法

摘要：

提出了一种新的薄膜厚度测量方法.该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的过渡层为衬底,通过测量镀膜前后透（反）射谱的变化,即可实现薄膜厚度的精确测量.由于过渡层的厚度已经引起干涉,新镀上去的待测薄膜即使很薄,也会引起干涉的变化.通过镀制待测薄膜前后透（反）射谱干涉的变化,可以很容易地精确测量出待测薄膜的厚度,其测量极限高达1 nm以上.该方法既保持了传统光谱法的所有优势,又可以精确测量纳米超薄膜的厚度.它非常简单、快捷,特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控,尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度测量.

关键词：薄膜、厚度、测量、精确

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10874196、60508018;上海市青年科技启明星跟踪计划08QH14025;上海市研发基地协作能力建设专项09DZ2202200、08DZ2201000

在线出版日期：2011-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：9-16