氧化钒薄膜光伏效应机理分析

摘要：

氧化钒薄膜是非致冷红外焦平面探测器的重要组成部分,光电特性一直是国内外的研究热点.用反应磁控溅射方法在K9玻璃衬底上制备了氧化钒薄膜,并在特定条件下对其进行了退火处理.结果发现,在300℃下退火180 s的氧化钒薄膜在可见光照射情况下呈现出了光伏效应,这说明光生载流子在氧化钒薄膜表层形成后得到了有效分离.该光伏特性为氧化钒薄膜在光电探测器中的应用拓展提供了有力的理论依据.

关键词：氧化钒薄膜、退火、光伏效应、Dember效应、场制表面电压

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.91(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目60806021

在线出版日期：2011-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18