液相外延用碲镉汞母液晶锭的组分均匀性

摘要：

开展了液相外延用碲镉汞母液晶锭的合成工艺优化研究.通过优化合成温度、合成时间、摇炉速率和淬火工艺,有效提高了碲镉汞晶锭的纵向组分均匀性.用改进工艺后合成的碲镉汞母液晶锭生长了28个外延薄膜样品,其组分平均偏差为0.95%,满足第二代红外焦平面探测器研制对探测器材料组分均匀性的要求.

关键词：液相外延、碲镉汞母液、组分均匀性

所属期刊栏目：32

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22