光电器件薄膜附着力评价方法的研究进展

摘要：

薄膜与衬底的结合性能一直备受关注.在各种情况下,薄膜的性能都依赖于其与衬底的附着力大小.为了提高附着强度,需要深刻理解附着力的机理和开发合适的附着力测试技术.从基准附着力、热力学附着能和实际附着力三个不同角度提供了附着力评价途径.作为广泛使用的附着力粘接测试技术,拉脱法和压带剥落法等方法在大量样品测试方面具有独特优势,可定性、半定量地评价薄膜附着性能.

关键词：薄膜、附着力、粘接法、光电器件、测试技术

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60907048;上海市自然科学基金09ZR1436200

在线出版日期：2011-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：10-15