碲镉汞外延材料缺陷的研究进展

摘要：

通过对近年来的部分国外文献进行归纳分析,介绍了碲镉汞(MCT)缺陷研究的现状.与其他类似的半导体相比,MCT以其显著的优势成为红外焦平面(FPA)器件中最为常用的窄带隙材料.MCT外延层中的缺陷可能会影响光敏元的性能,降低MCT焦平面器件的可用性.衬底类型、衬底晶向和生长期间的衬底温度等因素对MCT外延层的质量有明显影响.高质量MCT外延层的生长要求人们对形成缺陷的各种因素有深入的了解并能对其进行良好的控制.借助各种制备和表征技术,MCT的外延生长取得了显著进展.

关键词：碲镉汞、外延生长、外延层、缺陷、红外探测器

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.2+5(半导体技术)

在线出版日期：2011-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-9