一种测试多层膜系热导率的方法

摘要：

提出了一种测试多层薄膜热导率的结构.用ANSYS有限元分析软件对该结构进行了仿真,分析了加热功率以及悬梁长度和宽度等因素对测试结构温度分布的影响.仿真结果与理论相吻合,验证了该方法的可行性.微桥结构多层膜系的热导率是影响器件性能的关键参数之一.该测量方法无须在真空中实施,结构简单,操作方便.

关键词：热导率、多层薄膜、ANSYS软件

所属期刊栏目：31

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家863计划项目2007AA03Z422

在线出版日期：2011-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20