利用干涉仪检测调整非球面物镜的光路

摘要：

介绍了利用干涉仪检测调整非球面物镜光路的方法.调整分粗调和精调两个阶段.在粗调阶段,以激光的光轴作为检测光路的基准光轴,建立起共轴光路检测系统;在精调阶段,以WYGO干涉仪内部倾斜系数作为调整依据,进行物镜的精调.用干涉仪测得的物镜的面形质量为:波前PV值优于λ/8,RMS值达到λ/100(λ=0.6328μm),检测结果满足波前检测镜头的要求.这表明此种光路调整方法能够反映物镜真实的面形精度,并且能用于高精度的物镜检测.

关键词：非球面光学、光学调整、干涉仪测量、同轴

所属期刊栏目：31

分类号：O43;TH74(光学)

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15