InGaAs短波红外探测器的偏振响应特性分析

摘要：

在偏振成像和激光功率测量技术领域,凡涉及偏振光的定量测量,都会由于光束的偏振态对探测器的影响而产生显著的误差.这种现象主要是由于许多类型的光探测器存在偏振敏感响应引起的.本文对光电探测器的偏振响应进行了分析,推导了光电探测器偏振相关损耗的斯托克斯模型.分析了SiNx钝化膜对InGaAs探测器偏振响应的影响.结果表明,无SiNx钝化膜时,随着入射角度的增加,偏振响应损耗明显增加,而随着波长的增加,偏振响应损耗明显降低;采用SiNx钝化膜时,随着波长的增加,偏振响应损耗先减小后增加.由于设计的SiNx薄膜的增透中心波长为1550nm,1310nm波长处的偏振响应损耗大于1550nm处的偏振响应损耗.

关键词：光电探测器、InGaAs、偏振、响应、SiNx

所属期刊栏目：30

分类号：TB96(计量学)

资助基金：中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目资助C2-32

在线出版日期：2010-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-11