退火温度对二氧化钒薄膜红外透过率的影响

摘要：

针对提高用溶-胶凝胶法制备的VO2薄膜的红外透过率的问题,提出了制备时的最佳退火温度.简要介绍了用无机溶胶凝胶法制备VP2薄膜的过程,对制备的VO2薄膜进行了差示扫描量热(DSC),X射线电子能谱仪(XPS)测试,分析了VO2薄膜的成分及相交温度.根据瑞利-高斯散射公式,通过散射截面与粒子密度计算和不同退火温度下薄膜透过率的测试,重点讨论了退火温度、晶粒尺寸和红外透射率三者的关系.

关键词：退火温度、相交、二氧化钒

所属期刊栏目：30

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2009-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22