谐振腔增强型红外光电探测器的反射镜的分析与优化设计

摘要：

针对顶镜和底镜最上层厚度为二分之一中心波长的分布布拉格反射镜(DBR),引入了现代光学薄膜技术中"虚设层"的概念,并进行了详细的理论分析和说明,用传输矩阵法推导了DBR的反射率,对其顶镜和底镜的反射率在真实器件的条件下进行计算,仿真得到了采用不同的顶层厚度的DBR的反射率及其与Si-DiO2层的对数、波长等的关系,证明了"虚设层"理论分析的正确性,对设计高性能谐振腔增强型红外光电探测器具有指导意义.

关键词：谐振腔、DBR反射镜、传输矩阵

所属期刊栏目：30

分类号：TN25(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划新材料领域2009AA032413

在线出版日期：2009-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4