红外热释电薄膜探测器敏感元的研究

摘要：

红外探测器不论是在军事还是在民用方面都有非常重要的应用.非致冷热释电红外探测器由于具有光谱响应宽、无需致冷等显著优点,近年来成为红外成像领域的研究热点,其结构中最关键的部分是敏感元.本文采用半导体光刻工艺和化学腐蚀的方法成功地对钛酸铅(PT)铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.

关键词：敏感元、光刻、剥离、红外

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.7;TM22(半导体技术)

资助基金：2007年江苏省高等学校大学生实践创新训练计划

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23