能同时探测可见光和红外的新探测器(上)

摘要：

法国红外公司(sofradir)把碲镉汞工艺技术同硅读出电路技术混合起来以制作红外探测器.由于碲镉汞材料的截止波长可调,这种探测器可覆盖0.8μm～14μm的带宽.红外探测器多半被用于0.8μm和15μm之间的波段.不断涌现的一些新应用表明需要一些能覆盖一个更宽波段的探测器,尤其是那种能同时敏感可见和红外光谱的探测器.例如高光谱应用,其中的全色通道一般都连带着一个红外通道.对于这样的应用来说,如果能够获得一种覆盖这两个通道的探测器,就可大大简化仪器的结构.其它潜在的应用可能是可见光范围内的分光学研究,这种研究需要把传感器的灵敏度扩展到近红外光谱.用第一流的高性能硅传感器并不能满足这一要求,因为这种传感器缺失0.8μm至1μm波段的灵敏度.在物理上,碲镉汞材料可工作于可见光,如果是混成结构,则有可能提供高量子效率和大的占空因数.除此之外,法国红外公司的N on P离子注入工艺和混成工艺具有独特的优点,利用这些工艺可研制出能同时敏感可见和红外光谱的高性能探测器.对于需要宽波段探测器的应用来说,这种探测器是令人感兴趣的选择对象.本文介绍法国红外公司用以研制这种新式探测器的方法,并讨论了这种新式探测器的潜在应用及其意义,最后给出了关于这种探测器的最新结果及其性能.

关键词：红外、焦平面列阵、空间探测器、法国红外公司、碲镉汞

所属期刊栏目：29

分类号：TN3;O64

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46