紫外激光在微细加工技术中的优势研究

摘要：

本文主要涉及紫外激光加工技术.通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高.对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势.

关键词：紫外激光、红外激光、红外器件

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.5(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：9-13,40