10.3969/j.issn.1672-8785.2005.04.009
用金属有机汽相外延技术制作焦平面列阵的InSb光电二极管
@@ 工作于3μm~5μm大气窗口的焦平面列阵具有许多军事和民间应用,如前视红外、导弹制导、无损材料测试以及肿瘤检查等.用离子注入技术可以制作出高均匀性的探测器,但是这种工艺会限制PN结的质量,增加仪器内的暗电流,而且需要低的操作温度.
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TN4(微电子学、集成电路(IC))
2005-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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