双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统

摘要：

双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统的关键元件是一种新型红外探测器,它采用表面微机械与常规集成电路的新颖组合,其工艺与标准集成电路工艺100%兼容.通过双材料微悬臂热敏单元,控制电容板位置耦合到低噪声MOS放大器输入端读出信号,也可通过光学读出.其噪声等效温度(NEDT)接近理论极限,能够满足高灵敏度、轻重量和低成本的装备需求.

关键词：双材料、微悬臂、MEMS、非制冷、IR、探测器

分类号：TH7;TN2

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：14-20