10.3969/j.issn.1672-8785.2004.06.001
微悬臂梁非制冷红外探测器的研究
本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造.由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别,用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲.用偏振光对弯曲程度进行检测,在CCD上呈现偏振光的干涉图案.它完全消除了由电路引入的噪声.目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右,但其理论值仅为几mK.
微悬臂梁、红外、非制冷焦平面、光机械
TN2(光电子技术、激光技术)
2004-09-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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