10.3969/j.issn.1672-8785.2004.03.002
热释电薄膜在红外探测器中的应用
介绍了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求.为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对读出集成电路(ROIC)的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术,另一方面发展了复合探测器结构设计.已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其噪声等效温差(NEDT)可达20mK.
铁电薄膜、热释电、非制冷红外焦平面阵列、低温生长
TN21(光电子技术、激光技术)
2004-05-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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