光学薄膜制作过程自动监控系统的研究

摘要：

@@ 1研究背景和意义
随着现代科学技术的飞速发展,光学薄膜器件得到了越来越广泛的应用,从人造卫星到现在的光纤通信,其中都有起着重要作用的光学薄膜器件.同时,随着用户要求的提高,对光学薄膜制作精度的要求也越来越高.而光学薄膜的制作是一个涉及到许多学科的复杂过程,受到不同材料、不同工艺以及一些突发因素的影响.以往的镀膜工作在很大的程度上是凭经验来进行的.因此,如何通过对其中的一些主要因素的自动控制来提高薄膜制作的效率,减轻镀膜工作者的劳动强度,提高光学器件的光谱性能,一直是光学薄膜制作过程中的焦点问题.利用计算机技术来自动监控光学薄膜器件的制作过程,可以大大提高光学薄膜器件制作的重复性和制作精度.因此,开展红外光学薄膜过程的自动监控系统的研究是项非常有意义的工作.

机标关键词：光学薄膜器件、制作过程、薄膜制作、自动监控系统、制作精度、计算机技术、自动控制、用户要求、人造卫星、器件制作、劳动强度、科学技术、焦点问题、红外光学、光学器件、光纤通信、光谱性能、镀膜、重复性、膜过程

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-16