采用PVDF薄膜的单片热释电红外图像传感器

摘要：

研制出了16×16像元的单片热释电红外图像传感器.该图像传感器的特征是:利用电子溅射法制作PVDF热释电膜,利用埋沟MOSFET制作低噪声探测器,利用微机械加工制作由四条横梁支撑的薄膜结构的热绝缘结构.探测部大小为75 μm见方、调制频率为55 Hz的图像传感器,其电压灵敏度达到6600 V/W,比探测率达1.6×107cmHz1/2·W-1,成功地获得了黑体炉开口部的热图像.虽然在灵敏度误差、噪声、偏置电压方面还存在着问题,但在实现单片热释电红外图像传感器方面已看到了前景.

机标关键词：薄膜结构、单片、热释电红外、图像传感器、加工制作、声探测器、电压灵敏度、热绝缘结构、噪声、偏置电压、调制频率、比探测率、微机械、热图像、溅射法、黑体炉、支撑、误差、特征、埋沟

分类号：TP7(遥感技术)

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：26-32