铁电薄膜材料生长及特性

摘要：

@@ 当今高度信息化社会对光电子器件提出了小型、高速、大容量、高集成、多功能等诸多要求.铁电薄膜(ferroelectricthin films)材料具有优良的铁电、压电、热释电、电光、声光、高介电常数和非线性光学光折变等效应,可以单独利用上述效应制作不同的功能器件,也可以综合利用多个效应制作多功能新型光电子器件,广泛地应用于存储器、传感器、光集成、光波导、热释电探测和微机械等领域.薄膜制备技术和半导体集成技术的快速发展,使铁电薄膜材料与半导体材料的集成成为可能,也对铁电薄膜材料的制备技术提出了更高的要求.

机标关键词：铁电薄膜、材料生长、光电子器件、薄膜制备技术、集成技术、薄膜材料、效应、热释电探测、多功能、半导体材料、信息化社会、高介电常数、非线性光学、综合利用、制作、功能器件、微机械、光折变、光集成、光波导

分类号：TQ13

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-10