硅热电堆探测器件及制作

摘要：

针对实现红外技术在夜间和一些死角方面应用的视觉辅助系统,把微机械加工技术和制作微细红外吸收膜的工艺应用到CMOS技术中,使热电堆实现了高性能化.利用运用PSG替代层的分离法制作用低压真空蒸镀法成膜的金黑膜,使吸收膜实现了微细化.制作出三种160 μm见方的原型传感器,它们在大气中的灵敏度分别达到300 V/W、149 V/W、60 V/W,响应时间常数达2 ms、0.46 ms、0.27 ms.还利用原型传感器制成了64×32像元焦平面列阵传感器(FPA).

机标关键词：热电堆、探测器件、传感器、微机械加工技术、制作、响应时间常数、吸收膜、真空蒸镀法、焦平面列阵、原型、工艺应用、红外技术、高性能化、辅助系统、微细化、灵敏度、分离法、大气中、运用、夜间

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25