MgO掺杂SnO2甲醛传感器的气敏性能

摘要：

用MgO掺杂SnO2材料(SnO2/MgO)研制了旁热式甲醛传感器,采用紫外光激发的方式使传感器能在室温下工作.利用X射线衍射仪、热场发射扫描电镜、比表面积与孔隙率分析仪对SnO2和SnO2/MgO材料进行了物相组成、微观形貌的表征和比表面积的测定,并在不同退火温度、不同紫外光照射强度下对传感器进行了性能测试.结果表明:掺杂后的材料比表面积更大、吸附能力更强,当退火温度为650℃、紫外光照射强度为1.75 mW/cm2时SnO2/MgO传感器的灵敏度最好.在以相同体积分数的O2、C2 H6 O作为干扰气体时,SnO2/MgO气敏传感器对甲醛具有良好的选择性.研究结果为探索高灵敏的甲醛检测新技术提供了参考.

关键词：甲醛传感器、紫外光激发、MgO掺杂SnO2材料、灵敏度

所属期刊栏目：52

分类号：TN305.3(半导体技术)

资助基金：广东省普通高校青年创新人才项目2018KQNCX391,2017KQNCX272

在线出版日期：2020-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：48-53