单层和多层Ehrlich-Schwoebel势垒对薄膜粗糙度随温度变化的影响

摘要：

以Cu为原型,利用动力学蒙特卡洛(KMC)方法模拟了在一定的沉积速率下,单层、多层台阶Ehrlich-Schwoebel (ES)势及温度对成膜质量的影响.结果表明,在一定沉积速率和ES势垒下,薄膜的粗糙度在一定范围内随着温度的升高而降低,当多层ES势垒大于单层ES势垒时,此温度范围受单层ES势垒的影响,而与多层ES势垒关系不大;当单层ES势垒大于多层ES势垒时,多层ES势垒与粗糙度下降的起始温度密切相关,单层ES势垒与粗糙度趋于平稳的温度相关.

关键词：KMC方法、单层ES势垒、多层ES势垒、生长温度、粗糙度

所属期刊栏目：47

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目61271271

在线出版日期：2015-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37