衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响

摘要：

采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多；晶粒尺寸逐渐变大；Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.

关键词：氮化锌薄膜、直流磁控溅射、表面形貌、光学带隙

所属期刊栏目：44

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目61072028;广东省自然科学基金项目10151063101000048

在线出版日期：2013-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69