偏振共焦扫描显微镜的研制及其成像研究

摘要：

根据偏振共焦扫描显微镜的原理,成功研制了一台偏振共焦扫描显微镜 . 用该偏振共焦扫描显微镜对各种集成电路芯片、生物组织等物体进行透射式成像或反射式成像研究,并分析成像结果.实验表明:该偏振共焦扫描显微镜能够对各种物体进行成像,具有成像方式多样,可逐层扫描,非线性成像等特点.

关键词：偏振、扫描、共焦显微镜、成像

分类号：TH742.64(仪器、仪表)

资助基金：广东省自然科学基金980046;广东省科技厅科技攻关项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：89-92