基于PVDF的压电触觉传感器的研究进展

摘要：

聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜因具有柔韧性强、机械强度高、灵敏度高、频响范围宽等优点,在触觉传感器、超声换能器等领域具有广泛的应用前景.文中首先介绍了基于PVDF的压电触觉传感器的工作原理和制作工艺,然后从器件的压电性能优化、微结构化、集成化、柔性化、仿生化5个方面系统概述了PVDF压电触觉传感器的研究现状与发展趋势,讨论了其在机器手、微创手术、健康监测领域的应用研究与进展,最后分析了目前PVDF压电触觉传感器发展的不足和未来的主要研究趋势.

关键词：聚偏氟乙烯薄膜、触觉传感器、压电、柔性

所属期刊栏目：47

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61871195;广东省自然科学基金资助项目2016A030313474

在线出版日期：2020-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：1-12