自支撑金刚石厚膜片的HFCVD法制备及摩擦学特性

摘要：

探讨了自支撑金刚石厚膜片的晶体生长模型,并依据模型通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了厚度为0.6mm的自支撑金刚石厚膜片.采用球-盘式摩擦磨损试验机进行摩擦学实验,借助扫描电镜、拉曼光谱仪等研究了自支撑金刚石厚膜片分别与钢球、陶瓷球以及铝球组成对偶副时的摩擦学特性.结果表明:铝球做对偶球时平均摩擦系数最大,在对磨初始阶段很快出现了金属转移层;陶瓷球做对偶球时摩擦系数最小,球表面物质的微观形貌呈微细碎屑状分布;对磨后自支撑金刚石厚膜片的磨损量非常小,是良好的耐磨材料.

关键词：热丝化学气相沉积法、自支撑金刚石厚膜、摩擦系数、磨损

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分类号：TH117.1;O793

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275230;江苏省科技计划项目2015057-22;江苏省六大人才高峰项目ZBZZ-002;江苏省研究生培养创新工程项目KYLX_0227;南京航空航天大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目 Supported by the National Natural Science Foundation of China51275230;the Science and Technology Planning Project of Jiangsu Province,China2015057-22

在线出版日期：2017-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：97-102