低温溶液加工法制备氧化锌薄膜晶体管

摘要：

为适应柔性有源有矩阵有机发光二极管（AMOLED）等新型显示技术发展的需要，将低温溶液处理的氧化锌作为半导体层、电化学氧化的氧化铝钕作为栅绝缘层，制备了氧化锌薄膜晶体管（TFT）．制备氧化锌半导体层所用的前驱体溶液为无碳的 Zn（OH）x-（NH3）y（2－x）＋水溶液，这种氨络合物溶液制备简单、成本低，并且由于容易形成高活性的氢氧自由基，使得氨－金属之间的分解所需要的活化能较低，生成氧化锌所需的能量较小，可以在180℃的较低温度下获得氧化锌多晶薄膜．所制备的 TFT 器件的最高迁移率可达0．9 cm2／（V·s）．这种低温氧化锌薄膜工艺与室温电化学氧化的栅绝缘层工艺相结合，具有温度低和迁移率高的特点，完全能与柔性衬底兼容，在柔性显示中具有很大的应用前景．

关键词：薄膜晶体管、氧化锌、低温溶液加工

分类号：TN141(真空电子技术)

资助基金：国家“863”计划项目2014AA032702；国家自然科学基金资助项目61204087，51173049，61306099；广州市珠江科技新星项目2014J2200053；华南理工大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目2014ZM0003，2014ZZ0028

在线出版日期：2015-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102