乙二醇对固结磨料研磨蓝宝石晶圆的影响

摘要：

研磨液中的化学添加剂对于蓝宝石晶圆的高效超光滑表面加工至关重要.文中开展了固结磨料研磨蓝宝石晶圆的实验研究,探索了不同乙二醇含量的研磨液对材料去除速率和表面形貌的影响规律,采用微/纳米压痕技术和光电子能谱剖析了工件表层的物理化学性能.结果表明:当研磨液中含有5％的乙二醇时,工件表面变质层深度约为3.90 nm,远优于去离子水研磨液的工件变质层深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促进了表面变质层的生成,有利于蓝宝石工件研磨效率的提高和表面质量的改善.

关键词：固结磨料、乙二醇、蓝宝石、表面变质层、材料去除速率

所属期刊栏目：42

分类号：TH145.1;TQ174.1;O793

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175260,51375237;南京航空航天大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目NP2012516

在线出版日期：2015-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：25-30,39